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为什么半导体对如此多的行业如此重要?

半导体是如何制造的?

硅晶圆

硅晶圆是半导体器件的基础。该工艺始于将纯硅晶体(“锭”)切成薄片并抛光至光滑。抛光晶圆可消除杂质和划痕,为制造芯片留下良好的基础。这一步至关重要,因为即使是轻微的污染也会导致产品缺陷。抛光步骤后,一层导电或半导体材料被沉积在晶圆上——这一步骤称为“沉积”。

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准备好晶圆后,其表面会涂上一层光刻胶,这是一种感光材料,可以改变晶圆的化学性质,使其适合电路印刷。根据其对紫外线 (UV) 的反应性,光刻胶 (或抗蚀剂) 主要有两种类型:正性和负性。

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先进光学

在晶圆上涂上光刻胶膜后,就可以进行电路印刷了。将电路设计绘制到晶圆上的过程称为光刻。在此步骤中,将晶圆插入光刻设备中,将其暴露在紫外线下。在光刻机中,光线穿过包含电路蓝图的掩模,将图案印刷在涂有光刻胶膜的晶圆上。光刻过程中可能会发生折射和缺陷,这就是为什么需要严格的质量控制。

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在晶圆上印刷电路图后,接下来进行蚀刻以去除表面多余的材料。此过程可以通过两种不同的方式完成:

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通过离子注入技术将杂质(如砷或磷离子)嵌入硅片,使硅片具有半导体特性。然后,进行热处理以激活离子并创建微晶体管。光刻胶材料可阻止离子进入可能导致缺陷的区域,并在注入后通过灰化或使用化学品将其去除。

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整个半导体制造过程从设计到生产最多需要 26 周。生产过程的最后阶段是将晶圆分离成单个芯片(切割),并通过粘合将芯片放置在基板上。最后,将带有冷却系统的保护性金属容器放在芯片顶部,以确保芯片不会过热。经过此过程后,芯片即可使用。

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什么是半导体制造?

将硅和/或其他原材料转化为半导体器件是一个复杂的过程,可能需要数月才能完成。半导体制造是用于制造集成电路 (IC) 的制造方法,集成电路由晶体管和其他内置于现代电子设备中的组件组成。该过程由多个化学和照相处理步骤组成,将半导体材料晶片转化为电子电路。半导体需要哪些原材料?通常,制造商使用纯元素(如硅或锗)作为半导体材料。

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半导体制造需要什么?

制造过程包括三个主要领域:晶圆制造、电路构建和封装。以下是该过程中所需的最重要组件。

硅或化合物等原材料

氮气、氧气和氩气等气体可创造适当的环境和化学反应,从而塑造半导体的电气特性

半导体制造设备,包括切割机、探测机、边缘整形产品和研磨机

光学检测系统等质量控制设备,确保产品质量

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半导体研磨、抛光系统

切削和纳米磨削

通过采用切削和/或纳米研磨方法,可以实现 2nm Ra 的表面粗糙度值,从而能够在研磨后直接进行 CMP。


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CMP 化学机械抛光

后研磨 Engis 提供专门开发的机器和消耗品,能够在几乎所有半导体材料上高效生产 Epi 表面。

半导体晶圆研磨和背面减薄

 


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